二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9204825 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是由TEL（TOKYO ELECTRON Ltd.）开发，并得到尼康计量（Nikon Metrology）代言的先进光刻设备。它旨在处理最具挑战性的制造和生产过程。它不需要扫描，而且比传统的光刻胶快得多。TEL Lithius系统使用软件控制的基于解决方桉的设计来生成精确的模式和图像。其先进的晶圆级光刻技术确保了非常高的分辨率和精度，特征尺寸为0.1至50 μ m。它还提供宽线宽度控制（小至0.15 μ m）和卓越的线宽变化性能。TOKYO ELECTRON Lithius单元为无遮罩光刻提供了一种低成本的解决方桉，并允许高精度光刻应用。机器使用专有软件来控制光刻胶过程的各个方面。这包括模式生成、晶圆布局、晶圆处理和掩码优化。锂是基于一个自下而上的沉积过程，开始于一个均匀的抗蚀层涂覆整个晶片。然后有选择地将该层暴露于光源，如ebara或石英灯，时间是预定的。在暴露于这种光之后，光致抗蚀剂被开发和加工，以便制造图样和产品。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius工具能够产生高精度、超精细的细线和高纵横比结构。它也非常节能，在过程中尽量减少浪费。此外,它非常易于使用,并且需要最少的培训和维护。TEL Lithius是高端半导体和MEMS/纳米器件制造的可靠、经济高效的解决方桉。适用于生物医学、电子、汽车、电信、显示器和印刷电路等多个行业。该资产可用于创建非常复杂的模式和组件,非常适合批量生产小型零件。