二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9218117 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款创新的光阻设备。它是一套综合性的工具，旨在促进生产半导体元件的高效光刻工艺。光刻胶系统允许对各种类型的电路和组件进行快速原型设计和开发。TEL Lithius系统采用了先进的化学机械平面化技术。这项技术的工作原理是在基板上创建一个水平和均匀的表面。这是通过使用磨料垫来实现的，磨料垫会缓慢地穿过基板，并由光学探测器不断监控，以消除任何缺陷或不一致之处。基材抛光后，在表面涂上光刻胶，呈薄薄的均匀层。这样可以将图样蚀刻到基板层中。随后,使用特殊的蚀刻工艺从表面精确去除任何不需要的材料。其结果是一个精确的图桉化基板层具有很高的精确度。TOKYO ELECTRON Lithius单元还包括一套全面的成像和成像分析工具，以协助半导体元件的开发。这些工具可用于获取阵列参数，如线宽、角度、迭加和光刻胶厚度。然后可以使用此信息修改或微调阵列,以确保创建精确蚀刻的组件。对于改进的掩模对准，Lithius还提供了一套全面的步进对准模块和实时横截面成像工具。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius machine是半导体元件生产的无价工具，在严密的设计精确度内提供精确的制图能力。该工具适合用于生产最新的高端半导体器件，如内存和处理器芯片。它还提供了快速原型设计和子系统开发的能力。