二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9235182 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius，又称大面积细图样平台（Large Area Fine Patterning Platform, LFtec），是一种光刻设备，用于在大型半导体晶圆上创建均匀、微米大小的图样。该系统采用先进的热成像工艺，以高通量效率在光刻胶中曝光图样。LFtec能够产生图样,图样范围为5到20 µm,对准精度在1 µm以内。LFtec单元基于光刻工艺，由三大部分组成；照明光学器件、光刻胶和照片对齐方式。首先,照明光学器件将特定的图样照射到光刻胶上.然后，光致抗蚀剂吸收光产生化学反应，这取决于光致抗蚀剂的种类。相片缓冲区对应于每个晶片的图样。LFtec机器使用的TEL高级热成像工艺有助于提高吞吐量效率。它采用红外光源快速加热光刻胶，与传统光刻设备相比，这有助于以更快的方式曝光图样。它还具有高精度的不稳定控制空间滤波器，以减少线宽变形的模式。此外，LFtec工具被设计为可以轻松处理200毫米至12英寸晶圆的多个晶圆尺寸。它还提供了与实时数据的完全集成，以确保其准确性和可重复性。LFtec资产独特的成像能力使其成为在大型晶片上创建复杂模式的理想选择。从模型中创建的统一而精确的模式使其非常适合集成电路（IC）、LED显示器等多种先进应用。