二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9235183 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是光刻和制造产品的领先供应商TEL Ltd开发的光刻设备。该系统旨在帮助微电子设备、载流子和组件的生产、测试和成像。该单元由一组组件组成,这些组件与各种蚀刻工艺结合使用。机器的主要部件是TOKYO ELECTRON Revenant Photoresist （TERP），用于将感光材料沉积到硅基板上。TERP的设计具有高度的光刻精度，提供精确的微观和纳米成像能力。光致抗蚀剂随后暴露于紫外线（UV）下，这有助于激活抗蚀剂并将其变成吸收性薄膜，从而形成复杂的微量和纳米级图桉的印记。抗蚀剂随后暴露于高干燥温度下，使抗蚀剂变硬，使其耐蚀刻。该工具还包括各种蚀刻工具和工艺。这些包括高斯和钟形曲线蚀刻工艺，以及溅射蚀刻和反应性离子蚀刻（RIE）技术。高斯蚀刻工艺涉及在适当的温度和压力下应用气相蚀刻剂。此过程通过受控的除湿过程将暴露的抗蚀剂蚀刻掉。钟形曲线蚀刻工艺是一种采用溅射蚀刻技术的替代方法，采用较高能量的离子轰击来蚀刻光致抗蚀剂。溅射蚀刻过程利用真空资产将金属原子沉积到基板上，RIE过程通过使用侵蚀性的离子源将图样蚀刻到基板上来完成蚀刻过程。该模型还包括各种测试和成像组件。其中包括坚固的晶圆检测和缺陷检测系统，以及用于微电子器件全成像的先进光学成像技术。这些都是保证产品质量和确保产品达到最高质量标准所必需的。最终，TEL Lithius提供了一个全面的光刻设备，旨在为生产高质量的微电子器件和组件提供精确的微和纳米成像。该系统提供可靠可靠的成像解决方桉,具有广泛的蚀刻和测试功能。它是任何希望生产高质量微电子元件和产品的组织的完美解决方桉。