二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9235261 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是半导体工业中使用的一种先进的光阻设备，用于在基板上创建电路元件。光致抗蚀剂，或对光有反应的光敏化学物质，用于在光刻过程中在基板上创建有图桉的结构。TEL Lithius系统由步进器单元、光刻光源和抗蚀性涂层头组成。步进器负责控制移动芯片和基板的电动级，以及提供精确的手段来旋转、移位和聚焦基板。步进器还包括额外的选项，允许在操作过程中基板的多维对齐和芯片的运动。光刻光源为光刻胶的曝光或成像提供光源。它根据光刻胶的特性提供各种图桉灯，还包括一个对齐板，用于测试结构的位置精度。单元的最后一个部件是抗蚀剂涂层头，负责将抗蚀剂精确涂在基板上。这台机器提供了传感器控制的传输流速，以确保抗蚀剂在基板上的涂层均匀。该头能够涂覆宽达50毫米的面积，分辨率高达0.01 µm。TOKYO ELECTRON Lithius机器被用来在晶片组上建立高解析度的结构，这种结构被用于手机元件、半导体测试板、OLED显示器等多种应用。光致抗蚀剂工具的工作原理是根据光源的强度有选择地降低基板上抗蚀剂的暴露程度，从而形成任何形状或大小的高分辨率结构。Lithius资产提供的先进技术提供了精确的控制和准确性,使用户能够最大限度地减少制造结构时的任何错误。