二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9252496 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是光刻应用中为直接紫外线曝光而设计的光刻设备。该系统利用UV LED源实现高分辨率曝光，以及使可能的曝光时间在微秒范围内实现高吞吐量处理。该单元还具有用户友好的触控面板界面，能够方便的程序设置和监控光刻参数。光刻机由协同工作的部件组成，以制备用于微加工的基板。它具有UV灯平台、高分辨率步进工具和对UV敏感的抗蚀剂。此外,资产还使用高速、高分辨率变焦镜头来聚焦光源。UV LED灯寿命长，可根据应用变暗。此外，该灯还可进行冷却保养和更长的UV LED变速器。变焦镜头模型提供了有限衍射分辨率,并提供了广泛的步长和重复配置。它还配备了自动聚焦设备，使光线在整个曝光过程中一直聚焦在基板上。步进系统的精确度对于实现微加工至关重要。可以通过用户友好的触控面板界面设置和监视该单元。它提供了一系列曝光配置，从单次拍摄到多次曝光系列。此外，这台机器还可以超声波旋转基板，能够处理高达360毫米方形的基板。最后，光致抗蚀剂工具采用化学放大正音抗蚀剂。这种抗蚀剂被设计成对紫外线敏感，并提供所需图桉的精确度。化学放大意味着由于二次反应促进其溶解度，它可以承受一系列的暴露能量。然而，这些次要反应也是不必要的削弱的根源，导致不希望的和不可预测的模式。TEL Lithius光抗蚀剂资产结合了精密步进控制、UV LED照明、先进变焦镜头模型和化学放大正音抗蚀剂，为实现高分辨率光刻处理提供了高效平台。