二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9260375 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是设计用于半导体器件制造的光刻设备。该系统采用两室湿式台式，一室用于预处理，另一室用于开发商。预处理室可结合酸碱处理以及p型或n型掺杂处理底物。显影室包含光刻胶溶液，允许使用者以精确的厚度和轮廓将光刻胶层涂抹到基板上。光掩模用于对光刻胶层进行图样化，掩模的轮廓和光源的强度决定所施加光刻胶层的厚度和轮廓。该单元包括一个设备控制器，用于监测各种溶液的温度和流量以及光源、基板和光掩模的参数。这样可以准确控制过程中的每个步骤,从而实现可重复和精确的结果。此外，机器还包括一个图形用户界面（GUI），它允许用户查看和选择他们的应用工具参数和配方。此外,该资产允许用户保存配方和工艺参数以供将来使用。这确保了一个一致的过程，即使需要对特定配方或过程参数进行更改。该模型还具有自动对焦特性，可确保在光刻涂层过程中达到适当的聚焦深度。此功能可防止由于焦点不正确而导致任何曲面图像失真。TEL Lithius是一款极为精确的光刻设备，允许制造高精度、高质量的半导体器件。系统直观的用户界面和可靠的过程参数可实现高度准确和可重复的结果,从而确保高效和可靠的过程。