二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9273942 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种光致抗蚀剂设备，设计用于将复杂的图样复制到复杂的基板上。该系统设计用于半导体制造，生产晶体管、二极管、电阻等半导体器件的零件。该单元由几个不同的组件组成。最值得注意的是，光致抗蚀剂是一种对光敏感的材料，通常在基材上使用耐蚀刻材料。然后这种材料只对特定波长的光产生反应。在TEL Lithius机器中，半导体激光器被用来发送一个被引导到基板上的光束。这允许精确的模式复制和准确的特征实现。TOKYO ELECTRON Lithius工具被其他各种元件进一步增强。其中一个最重要的成分是图像对齐器，它确保光束被精确地直接对准基板上的光刻胶。此功能消除了未对齐错误,并提高了复制过程中的准确性。此外，耦合器从计算机获取发送到激光的必要信息。Lithius资产还具有一系列可调节的设置,这些设置旨在提高精度并确保设备的最佳生产。这些设置允许优化激光的功率、扫描速度和焦距,从而实现更高分辨率的图像。此外,还可根据需要提供各种滤波器和掩蔽技术,以提高准确性。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius模型除了提供各种组件外，还包括一个易于使用的图形用户界面，可以在无需操作员的情况下操作设备。GUI允许用户对必要的功能和命令进行编程，以创建所需的模板并将必要的数据传输到激光器。例如，用户可以对使用的光刻胶类型、激光功率、光束焦距、基板的精确地址等必要功能进行编程。总体而言，TEL Lithius系统设计用于半导体器件和部件的精确生产。该单元提供先进的功能，如激光光束操作和可调节的设置，以确保卓越的性能。此外,易于使用的图形用户界面提供了方便和易用性。TOKYO ELECTRON Lithius机器肯定是半导体专业人士必不可少的工具。