二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9274980 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款先进的光刻胶设备，专门设计用于在各种应用中产生极高的分辨率特征和图样。该系统由复杂的光路以及最先进的光刻单元和先进的旋转器设计组成。TEL Lithius单元旨在创建非常高分辨率的功能,这个术语通常被称为高纵横比。这是通过同时使用聚焦激光器和宽均匀电子束，以比传统光刻系统更高的精度和更高的速度渲染图样来完成的。TOKYO ELECTRON Lithius machine独特的构建元素允许用户在项目的基础上定制工具，确保最终产品的精度最高。Lithius资产最适合高纵横比功能,并且能够产生20纳米以下的功能。它也能够支援其他特徵模式，例如纳米柱、纳米腔和微机电系统（MEMS）。该模型可靠、稳定，具有重复性和过程控制能力。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius设备支持的底物范围包括硅片、玻璃、聚合物和氧化铝产品。该系统使用各种最先进的工具,包括高速扫描仪、光学模块和高级计算工具,迅速曝光基板。该单元包括高速垂直传输，以跟上过程周期时间。此外,该机器还具有精确的项目管理工具,允许用户远程控制基板处理、程序自动化,并提供各种工具改进和过程控制程序。这种先进的资产利用较低的光掩模尺寸来产生小于等效传统光刻胶模型的特征。由于设备中有先进的光学元件,掩模尺寸可以减小。TEL Lithius单元作为一种先进的光致抗蚀剂系统，是高长宽比、小尺寸的复杂纳米结构的理想选择。该机器可靠，对基材工艺提供了出色的控制，非常适合从医学到电子再到汽车工业的广泛应用。该工具包括各种复杂的功能，使其成为市场上最先进的光刻胶系统之一。