二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9274993 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是专门为光刻工艺设计的光刻设备。它可以用来为各种用途，例如半导体芯片生产和掩模制造，在掩模中创建图样。光致抗蚀剂材料用于在基板或器件（如半导体芯片或掩模）的表面上产生图样。TEL Lithius系统由扫描电子束曝光工具、掩模书写单元和光敏材料组成。扫描电子束曝光工具用于将电子束的图样绘制到掩模上，形成图样化的表面。然后,掩码写字机处理此模式,以便在基板或掩码上创建图像。然后将光致抗蚀剂材料施加到基板或遮罩上，图样可以转移到基板或遮罩上。TOKYO ELECTRON Lithius工具的关键特性之一就是其高分辨率。它能够实现亚微米分辨率,这意味着它可以产生特征大小降至亚微米范围的图样,这对于许多先进技术来说是必不可少的,例如半导体芯片和芯片掩码。该资产还能够创建高长宽比结构（深度与特征尺寸之比），这对于半导体芯片的生产和掩模制造至关重要。锂模型还能够支持其他需要更高分辨率的技术，如3D打印和接触光刻。该设备还支持使用多种不同的光刻胶，如环氧光刻胶、聚酰亚胺光刻胶等。这使得系统可以用于各种不同的基板和掩模。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius单元被设计为人性化且易于使用。这使得它非常适合那些新的光刻或有限的经验与技术，因为他们可以快速学习和熟悉机器。总体而言,TEL Lithius工具是光刻和掩码书写应用的综合解决方桉。它的高分辨率和对多种光刻材料的支持允许制造复杂的图样和结构。该资产的用户友好型设计也使其适合经验丰富和经验不足的用户。