二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9275245 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 9275245
晶圆大小: 12"
(2) Coater / (5) Developer systems, 12" CANON FPA 5500 iZa included.
TEL (TOKYO ELECTRON LTD.)TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款由TEL/TOKYO ELECTRON开发的光阻设备。它用于生产半导体和显示器件,设计用于在超清洁环境中实现最佳生产力和性能。该系统采用了最新的光学技术,适用于高精度光刻工艺。该单元的光学设备包括多个透镜和微透镜,能够实现高图像分辨率,其光刻胶在暴露于光刻机的紫外线(UV)光下具有很高的对比度。该工具的高精度电动级能够在不振动的情况下精确移动晶片,确保即使在低k电介质表面上的最佳曝光精度。该资产具有精确控制工艺参数的能力,如暴露剂量和均匀性、喷雾距离、螺距和光刻图桉。这允许高效生产高质量的半导体器件。此外,该模型基于一个控制颗粒物、湿度和温度的自给自足的环境,使环境保持清洁,对使用者来说是理想的。该设备提供各种配件和选项,旨在优化不同应用中的性能。这些设备包括微处理站,用于精确绘制标线和口罩的图样,步进和扫描仪组件,用于自动光刻操作,以及用于高速、集成制造的自动设备处理程序。而且,系统包括脱机编程功能,使用户能够开发复杂的序列和定制配方,可以快速准确地复制。总体而言,TEL Lithius是生产半导体和显示器件的理想解决方桉。它具有最新的光学技术、工艺参数的精确控制和环境控制功能。此外,它还包括一系列附件和选项,以优化不同应用程序的性能。
还没有评论