二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9275274 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款设计用于制造集成电路的光刻设备。该系统以TEL先进的光刻技术为基础，为先进的半导体器件提供了一整套光刻工艺。它被设计为能够快速和精确的蚀刻抗蚀剂的图案，使高分辨率和优于半导体器件的特点。该装置能够提供高度精确的背面对准，使其成为减少迭加误差和紧密迭加控制的理想选择。该机可以连续监测和调节抗蚀剂的状态，以获得最佳效果。这有助于以更高的精度获得所需的模式。该工具还可确保图桉的均匀蚀刻,确保特征被精确蚀刻。光致抗蚀剂资产具有先进的制备工艺，有助于在蚀刻前制备抗蚀剂表面。它配备了一个静态消除装置，可以最大程度地减少表面的污染，同时提供最佳质量的蚀刻工艺。该型号配备单一晶片装载设备，从而可以减少装载时间，降低晶片暴露于更大污染水平的风险。该系统还有一个用作保护晶片绝缘体的介电面板，以及一个用于维持一致温度的内置加热单元，以便于操作。使用图形用户界面和用户友好的控件可以轻松操作机器。它还被设计成与在开放式现场总线系统上运行的其他系统相连接。这确保了数据可以在两个系统之间无缝交换。该工具可靠、安全、易于使用，为生产先进半导体器件提供了经济高效的解决方桉。此资产非常适合用于新产品开发、设计工程或生产应用程序。