二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9276842 待售
网址复制成功!
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种光刻设备,利用数位印刷技术在基板上製造极精确的图样。该系统旨在以精确的精度创建尺寸小至50 nm的阵列。这些特征允许以出色的分辨率生成阵列,从而创建更小、更复杂的特征。TEL Lithius利用一种称为自旋沉积的工艺,将光致抗蚀剂精确地输送到基板上。在这个过程中,带电的枪管将精确量的抗性液体分配到基板上,然后通过旋转均匀散布。这种精确的沉积能确保抗蚀剂不会浪费,并且所有基板的区域都被均匀涂覆。TOKYO ELECTRON Lithius然后使用精密的紫外线(UV)成像技术来製造精确的图样。通过操作UV激光器,该单元几乎可以对任何种类的基板进行图样绘制。激光制图允许在当代光刻分辨率以下制作特征,产生极精确的图样,并具有精确的实际控制。光致抗蚀剂被激光图样改变,可以根据激光的参数和曝光的长度或多或少地蚀刻掉。通过调整设置,机器能够创造比传统光刻技术更复杂的形状。此外,Lithius可以用来修改现有的模式,允许进一步的精度和细节。该工具还能够生产磁盘和晶片等有图样的介质,并为用户提供各种功能来定制其生产以满足其确切需求。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一项极为可靠和精确的资产,在许多行业有广泛的应用,从微电子到医疗植入物再到汽车元件。它为用户提供了无与伦比的精确度可靠、精确的模式,使他们能够轻松地快速轻松地创建复杂的零件和组件。
还没有评论