二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9286669 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种光刻胶系统，用于从电脑辅助设计製作光掩模。它是一种数字化的光刻形式，是将图像转移到光敏材料上的过程。来自TEL的独特系统使用户能够以卓越的精度和可重复的高性能从多边形和模具模式数据中生成高分辨率的光掩码。该过程从聚合物光致抗蚀剂及其相应的层掩模开始。光致抗蚀剂散布在所需的表面上，然后暴露在高能光源的光下，如紫外线激光器。经过预定的一段时间后，能量已被光刻胶充分吸收，导致光化学反应形成其对应的细分辨率光刻胶图样。掩模包含所需的要传输的图样,将其对齐并注册在光刻涂层表面上。图像传递过程被打开，来自激光的光激活了光刻胶中暴露的部分。发生特定的化学反应，在光敏溶剂中产生溶解的区域，然后允许图样从掩模转移到光刻胶上。转移完成后，溶解的区域用密闭的颜色填充，在光致抗蚀剂上形成精确的图桉。之后，感光层的元件被有选择地洗掉，以清理图样。然后将生成的具有所需形状的图像切成正确的大小和形状。最后，光掩码已经完成，准备用于各种应用，例如用于生产集成电路、传感器元件、连接器和其他元件。TEL Lithius是将图像传输到光掩模中的绝佳系统。它能够创建高分辨率的图样和可重复的高性能使它与常规的光刻不同。随着市场对高品质产品的要求越来越高，对任何尺寸的精确图像传输的需求也越来越高，使得TOKYO ELECTRON Lithius成为复杂的光掩模生产的理想选择。