二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9290886 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款基于公司成熟技术的光刻设备。该系统旨在为成像元件的生产执行精确的薄膜母带处理。该单元由两个主要组件组成，即薄膜母带单元（TFMU）和高质量成像（HQI）单元。TFMU由一个大型储罐、一个激光爆破站、一个加热元件和一个增加环境光的光源组成。HQI单元由辐射硬化相机、辐射计算组件和图像数据生成组件组成。薄膜母体装置（TFMU）由一个装有含有光敏材料的水溶液的罐体组成。光致抗蚀剂材料在通过激光束暴露于光下时能够形成特定图样的薄层。坦克的整个表面积由高强度、脉冲激光束照射。脉冲激光束用于创建不同的图样和尺寸的抗辐射图样。激光强度和脉冲长度由TFMU控制器管理,以确保阵列的精度。TFMU也使用加热元件在每一个图样化週期后反冲光敏材料的表面。HQI单元由一台照相机组成，用于捕捉和测量TFMU创建的图样和图像。HQI单元的目的是提供准确的成像数据，然后将其用于光敏材料的进一步加工和制图。HQI单元还包括辐射计算组件，使其能够区分不同的辐射水平并提供准确的数据。此外，HQI单元还包括一个图像数据生成组件，该组件提供必要的数据，以便将图样和图像精确传输到光刻材料。TEL Lithius是一款可靠的光刻机，用于精密制作薄膜轮廓。该工具包括爆破站、加热元件、照相机和图像数据处理等组件，这些组件可以协同工作，为成像元件的生产提供详细的模式。通过提供准确的数据，HQI单元允许图像数据处理和阵列制作高质量的成像组件。光致抗蚀剂资产还配备了辐射计算组件，使其能够准确区分不同的辐射水平。TOKYO ELECTRON Lithius凭借其先进的技术，是一种高效可靠的薄膜型材制造模型。