二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9296645 待售
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ID: 9296645
Coater / Developer system
Career station block
Process block
Coat process station
Develop process station
Plate process station
Interface block.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种高性能的光刻设备，能够实现用于生产半导体微电路的光刻工艺。该系统的设计目的是在基板上提供光刻胶的清洁沉积，以便对所需的电路设计进行精确的制图和蚀刻。它还能够通过使用化学溶剂冲洗浴和异丙醇刷来尽量减少过程中的任何污染。该单元由几个组件组成，包括准分子激光器、基板支架、光敏抗蚀涂层机和阴影面罩。准分子激光器用于创建紫外线脉冲，这些脉冲通过阴影掩码（包含电路设计）传输到基板表面。光照强度是可调的，以便电路设计的精确分辨率。基板支架用于保持水平一致的基板表面,允许精确涂层.光敏性涂层工具用于均匀地将光敏性物沉积在基板上。抗蚀剂在紫外线照射下反应，变得不溶解。这样就可以对所需的电路特性进行阵列化。异丙醇刷子用于擦洗基板表面，以去除任何多余、不溶性的光致抗蚀剂，以及任何污染颗粒。为进一步确保清洁，资产配备了化学溶剂冲洗浴，在底物转入下一阶段生产之前提供最后冲洗。所有这些组分的结合使得TEL Lithius成为有效的光敏模型，能够产生高分辨率的微电路。它是生产先进微电子器件的宝贵工具。
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