二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9296904 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是专门为纳米技术制造而设计的先进光刻设备。它能够揭示半导体晶片的最小细节，从而能够精确控制制造过程。该系统采用低成本、高性能的光刻沉积溶液以及晶圆上最小的结构特征成像。TEL Lithius单元的主要部件是晶片监视器，它测量晶片表面的电阻率以获得最佳电阻率均匀性，以及图像发生器，它可以在晶片上产生干净、可重复的图像。图像发生器由真空界面和图像掩码两个主要元素组成。真空界面负责将晶片设置为适当的沉积压力，允许整个晶片具有均匀的电阻率。图像掩模涂有金属薄膜以控制光刻胶的沉积，产生反映电路板布局的精确图桉。在操作中，TOKYO ELECTRON Lithius机器将晶片暴露在光源下，以揭开晶片上所需的图样。然后开发了沉积在晶片上的光刻胶，从而可以精确检查显影的细节是否准确。检查后,晶片将被转移到光刻站,在那里与所需的电路板布局对齐。最后,蚀刻晶片以创建所需的元件。Lithius提供了一种出色的光致抗蚀剂工具,可以在纳米级精确制造。其晶片监视器和图像发生器组件保证晶片在精心监控制图过程的同时得到适当的调节，确保了最终结果的高质量和可重复性。因此,它是寻求高效、精确的自动控制解决方桉的纳米技术制造商的宝贵资产。