二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9296906 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种光刻设备，设计用于生产半导体材料。该系统用于将图样蚀刻到半导体晶圆中，以便在其表面上创建微小的特征或组件。设备使用一个"掩码",其中包含放置在晶片上的预选模式。晶圆再暴露在高强度的辐射下，通常是紫外线，使图样转移到其表面。图样的传递过程称为光刻，TEL Lithius采用独特的"电子束光刻"方法。这涉及电子束被样品上的一系列光电偏转板聚焦和偏转，以使精确的辐射量到达晶圆。这样可以减少表面上的原子,减少所需的蚀刻时间。该机器能够提供超高精度的蚀刻,能够在36 x 36 mm的区域内创建小至0.012微米的功能。由于梁可以以非常高的精度进行操纵，这种高度精确的过程也使具有复杂甚至弧形形状的特征得以创建。可调整光刻胶水平以获得不同尺寸的特征。同样可调节的是信噪比，允许更多的控制模式和工作与任何薄膜厚度产生高分辨率的结果。该工具还具有独特的电极滤波器，提供高分辨率和均匀的性能。TOKYO ELECTRON Lithius的低维护设计确保了可靠性，允许长时间的持续高质量生产。它提供了较短的曝光时间,非常适合快速循环生产,并且对过程的高度控制确保了非常精细和一致的蚀刻。锂具有很高的精度和可靠性，是精密蚀刻半导体的理想技术。它实现了很高的分辨率和改进的均匀性，使其成为生产集成电路和其他纳米技术设备最合适的系统之一。