二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9315797 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种用于半导体器件制造的光刻设备。它基于一套高度先进的光刻元件，包括基于LED的曝光模块、"快门"模块、液晶装置图桉发生器、光学组件和晶圆处理系统。这些组件结合在一起，使得光刻过程中能够可靠地、一致地输送光刻胶。基于LED的曝光模块利用紫外线照明在晶片表面上曝光光刻胶。此模块能够在非常短的曝光时间内生成高质量的图像。除此之外，它还具有对光强度的精确控制，即使在较小的特征尺寸下也可以对光刻胶进行详细的图桉。快门模块用于精确的晶圆对准和曝光控制。它配备了一个机动装置，使其能够调整其位置，以便在处理过程中阻挡某些区域的暴露。这样可以确保在曝光过程中不在晶片上打印不需要的特征。液晶器件图样发生器用于复杂的光刻图样制作。它的工作原理是将高（5 μ m）空间分辨率模式发生器板与高速（kHz）液晶装置相结合。这种组合可以精确控制模式均匀性，从而确保晶圆上没有出现不均匀的模式。TEL Lithius的光学组件由高品质的透镜和板组成，保证了非常高的光强度和广泛的波长。结合基于LED的曝光模块，这提供了晶圆表面上光刻胶非常光滑甚至均匀的曝光。最后，该刀具的晶圆处理机确保晶圆在曝光过程中保持静止。该资产配备了具有xyz运动级的受控磁场，可用于精确的晶圆对准和定位。这一点很重要，因为光刻过程中晶片的任何运动都会影响制图，并导致性能的偏差。总之，TOKYO ELECTRON Lithius是一种高度先进的光致抗蚀剂模型，由一套高度先进的元件组成，能够在晶圆表面上可靠地、一致地曝光光致抗蚀剂。它能够产生的图样的精确度和细节甚至适用于最复杂的半导体制造任务。