二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9355511 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款用于精密光刻工艺的高性能光刻设备。它用于在晶圆表面上创建超细结构以创建半导体元件。该系统利用基于激光的六轴曝光过程，并利用多波长紫外线光源进行精确的光学曝光。TEL Lithius由一个台式抵抗涂层单元和激光曝光单元组成。抗蚀涂层单元提供了多种涂层方式和涂层重量，以确保光敏涂层均匀一致。本机采用的光刻胶可以从正向到负向变化，还包括抗反射和耐蚀刻涂层。基于激光的曝光过程是由一系列透镜和镜子以及高强度成像装置产生的。激光曝光工艺采用线性光学和对准技术的独特组合，以提高精度和重复性。可变结构成像技术也可用，它允许在基板上的不同高度成像，以创造3D效果。曝光工具还可以配置多个波长的光学器件，以容纳各种各样的光敏材料。TOKYO ELECTRON Lithius兼容现有的成像系统主机，以及当前和即将推出的设备。它还为容纳多种晶圆尺寸和基板提供了广泛的资产灵活性。此外,该模型还具有强大的客户服务网络和工厂服务支持。总体而言，锂是制造尖端半导体结构的理想选择。其用户友好的界面、可调节的线性级、强大的成像系统和多波长光学器件使其成为精密光刻工艺的理想设备。该系统可以轻松满足各种设备开发生产的要求。