二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9355520 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种光刻设备，使用专门的光刻涂层将器件图样传递到晶圆或基板上。光刻是将一层薄薄的光刻材料的特定区域暴露于紫外光的过程，这使得暴露的材料变得更具化学敏感性。这使得暴露材料的化学去除能够在光致抗蚀剂层中形成图样。TEL Lithius光刻系统利用先进的涂层工艺，在各种基板上创造出复杂的微米和纳米尺度特征和图桉。光刻过程的第一步是在基板上涂上光刻胶薄膜。分发器在基板上创建均匀的光刻胶层,并自动对齐要创建的阵列。光刻胶透过複合光学单元（SITEX）接触紫外线。通过掩模传输的紫外线指向抗蚀剂以创建所需的图样。随后，开发出暴露的抗蚀剂，去除暴露的材料形成花纹。然后对开发的基材进行加工、洗涤，并用SITEX机进一步减少图样为光致抗蚀剂的工艺。TOKYO ELECTRON Lithius光刻工具除了创造微量和纳米尺度的特徵外，还能够利用高解析度的材料来製造高密度的器件图样。该资产还采用先进的自动化和过程监测系统进行质量控制，以及广泛的基材和抗性，以有效降低成本。锂光刻工艺对于半导体器件的制造和制图是必不可少的.光刻胶允许对去除的材料数量进行非常快速和精确的控制，使其成为精细图桉的主要工具。该模型提供了对创建复杂半导体器件所需的特征大小和其他关键光刻参数的控制。该设备用于制造晶体管、集成电路、内存芯片、完整微处理器以及其他类型的电子元件。