二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9355521 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款设计用于处理半导体晶片的光刻设备。光致抗蚀剂是一种光敏材料，用于表面，以便蚀刻或发展图样和结构到基板。TEL Lithius的建立是为了提供精确的基板图样,对关键过程的污染最小。系统的核心是一种专有光源，产生一条高强度的准直、均匀的深紫外线（DUV）光。这种光源被用来直接以受控量的光能暴露光刻胶层。然后在确保精度和最小变化的闭环环境中完成基板的阵列。TOKYO ELECTRON Lithius还包括一个调节基板温度的自动温度补偿单元，以优化工艺参数。机器是模块化的，使用户能够自定义工具以满足每一个特定的应用程序。它带有各种模块，这些模块是为加工各种类型的基材而量身定制的。这些模块包括真空卡盘、旋转器、轨道和扫描仪。真空卡盘作为基板被转移和密封的平台。旋转模块用于旋转基板，因为光源以360度图样照亮光抗蚀剂。跟踪模块用于以所需的模式移动基板。它跟踪光源和基板的位置，以便精确移动基板。扫描仪模块可以用来处理大基板，产生极小的图桉。Lithius的自动化软件允许用户轻松编程特定的模式设置。它使用人工智能算法建议优化设置以加快处理速度。该资产还包括一个"教学和重复"功能，允许用户快速编程复杂的模式。所有这些特性使得TEL/TOKYO ELECTRON Lithius模型成为一个强大而可靠的工具，用于复杂而精确的基板图样。其强大的设计和多用途的模块使其能够很好地适应各种应用，从半导体加工到医疗应用。