二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9358674 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种用于半导体制造的光刻设备。光致抗蚀剂是一种光敏聚合物，在受到辐射的情况下会发生化学反应，产生改变形式的材料，其性质使其适合在半导体工业中应用。TEL Lithius系统专门从事与半导体行业光刻有关的光刻工艺。它利用一个抵抗分解投影仪，以红外光源来暴露基板。投影仪还可以配备激光扫描仪，以更精细的细节水平照射光抗蚀剂。该单元控制曝光时间、光照强度和聚焦精度，精度高。它还能够控制光致抗蚀剂如对准、表面缺陷控制和初步预处理。过程中严格控制温度和湿度，确保结果均匀，即使环境发生变化。曝光机可与自动装配线集成。它支持多种基板,每个作业都有用户定义的设置。它可用于具有适当配置的小批量生产。它为用户提供了先进的技术，如激光束写入和电子束绘制。为了确保结果的最高质量,该工具采用现场验证的数据资产进行设计。它允许用户在曝光过程中实时访问,以及在安全模型中查看曝光后数据。该设备具有高精度、高吞吐量和数据保护功能,可确保产品安全。它在从概念到制造应用程序的各种工作中提供卓越的结果。为了帮助支持用户,系统提供持续的技术支持、专业咨询服务和高级故障排除。TOKYO ELECTRON Lithius光刻装置是任何半导体生产环境的理想选择。它提供了高精度、简化的生产方法、更高的吞吐量和数据安全性。凭借其先进的功能，它是任何需要光刻技术生产半导体器件的应用的绝佳选择。