二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9361840 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款为半导体制造中的高级工艺而设计的光刻设备。光致抗蚀剂系统在芯片制造中被广泛使用，以创建用于驱动电信号的电路模式。光致抗蚀剂系统的主要功能是通过化学反应和/或物理力实现蚀刻（通过化学或物理手段去除材料）与沉积（以连续方式添加材料）。TEL Lithius允许在各种蚀刻参数上蚀刻微型晶片,所有这些参数的精度均为0.001\\m（微米）。使用各种升级解决方桉,它能够处理多达3英寸的晶圆。该系统分三个步骤工作：首先是光刻胶的图样化，然后进行聚焦蚀刻以去除材料，最后进行选择性沉积以填充图样化的空间。TOKYO ELECTRON Lithius为先进的光刻工艺提供全面支持。它支持包括先进电子束单元在内的一系列光学系统，使用户能够创建精确的亚微米电路模式。这台机器设计得非常精确，精确的光学分辨率补偿任何漂移。此外,高精度的倾斜级允许刀具以高达0.1度的分辨率倾斜基板,从而提供超高晶圆均匀性。锂可以提供高蚀刻速率、高选择性、低易感性的腔室污染。通过先进的蚀刻技术和气体控制，可以达到电弧和反应性溅射等多种效果。最后，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius具备自动化所有流程的能力，包括气体输送、真空维护、消耗监测和清洁/监测周期，是一种高效且具有成本效益的光致抗蚀剂资产。
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