二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9362296 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是用于开发集成电路（ICs）、薄膜晶体管（TFTs）和微机电系统（MEMS）的光刻设备。该系统结合了光刻、蚀刻和涂层技术，在硅晶片上创建复杂的图样，然后用于生产复杂的IC、TFT和MEMS设备。TEL Lithius单元从一个未遮盖的晶片开始,在该晶片上应用光致抗蚀剂。光敏材料是一种光敏材料，用于在晶片上创建光刻图桉。然后使用光源（如无掩码投影仪或接触打印工具）将晶圆的区域暴露于光图样或图像中。曝光完成后，晶片再在曝光后烘烤中加热，使光刻胶的曝光区域变硬。然后使用化学或水显影剂除去未暴露的光刻胶部分。这留下了一种可用于进一步加工的裸露光刻胶图样。下一步是蚀刻，利用等离子体、离子磨、反应性离子蚀刻器（RIE）或其他技术将暴露的图样转移到底层基板上。这一蚀刻步骤从晶圆中去除杂质和图桉化的光刻胶，在基板上形成微小的特征。最后，用物理气相沉积（PVD）或化学气相沉积（CVD）将图样化的晶片涂上金属或其他材料的薄膜。此层在为设备添加电气或机械性能（如电导率或弯曲能力）的同时保护底层晶片。TOKYO ELECTRON Lithius machine是生产现代IC、TFT和MEMS的重要工具，因为它能够高精度地在晶圆上创建错综复杂的图样。可用的掩模、光源和化学蚀刻剂使工具能够产生高度精确的3D结构,其特征尺寸达到纳米级分辨率。此资产是创建下一代电子和微系统的基本工具之一。