二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9362659 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种用于半导体器件制造的光刻设备。是专为量产光掩模和器件而设计的高端光刻系统。此单元基于获得专利的多光束技术,即使在较小的特征尺寸下也能实现高精度阵列。该机器还能够产生分辨率高达5nm的模式,即使在高吞吐量下也是如此。该工具包括扫描仪、曝光工具和成像资产。扫描仪以受控的方式在成像模型上移动基板以显示所需的图样。曝光工具允许用户控制模式的强度和焦点。这样可以确保高精度,同时支持多种工艺条件。成像设备由探测器、图像处理器和精细步进电机组成。检测器从光掩码中收集和提取图样信息。然后,图像处理器组织和操作数据以构建所需的结构。精细步进电机然后对准和聚焦成像系统，以确保高精度图样。TEL Lithius抗蚀剂单元还支持包括正负光致抗蚀剂、正音和负音光致抗蚀剂，甚至有机光化学在内的多种光致抗蚀剂。它还允许用户轻松集成过程控制算法，以最大限度地提高产量并节省成本。最后，该机还设计了自动污染检测工具、紧急安全快门、被动安全资产等安全特性。这些功能确保模型始终保持安全和正常运行。总体而言,TOKYO ELECTRON Lithius是一款用途广泛且可靠的光刻设备,即使在功能尺寸较小的情况下也能提供非常高精度的阵列。它为用户提供了一系列适合各种应用的光刻胶，以及一个简单的集成过程控制算法。最后,它还配备了各种安全功能,以确保用户能够抵御任何潜在的事故。