二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9365931 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 9365931
晶圆大小: 12"
优质的: 2008
Track system, 12" 2008 vintage.
TEL LASER TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款由TOKYO ELECTRON开发的光刻设备。它是一个由全场曝光工具和跟踪单元组成的组合系统,能够快速准确地制造众多零件。首先,Laser TEL Lithius机器在405 mm的波长下提供了近460 mW的光源,允许快速曝光时间和快速处理速度。激光对准的精度也提供了0.4 μ m的清晰分辨率和准确度,并且在2mm的方形区域内失真小于200 pm。这使得在需要高精度的制造项目中实现高精度变得非常容易。激光对准也是非常低的噪声,这意味着它可以用于高标准的图像质量的应用,如HDI。该激光器的小光斑尺寸仅为150至600 μ m,这意味着它非常适合复杂的特征和表面图样,其精度比常规曝光工具更为精确。Laser TOKYO ELECTRON Lithius的曝光也可以精确定向,使其对于过程中需要高度定向和精确度的众多模式都是完美的。The Photo Resist coat also very efficient with the Laser Lithius tool.光致抗蚀剂的厚度可达12 μ m,扩展宽度可达2 μ m。这样就能够与成品建立牢固的联系,确保更好的图像质量,并确保零件在加工过程中连接良好且稳定。Laser TEL/TOKYO ELECTRON Lithius资产还有一个Digital Mulitplex选项,允许单次拍摄多次曝光。与其他系统相比,这允许更快的处理时间,并允许更高的部件吞吐量,并使公司在零件生产方面具有更大的灵活性。最后,该模型还具有广泛的功能,使其成为众多过程的理想选择。这些功能包括轨道清洁度、应力缓解计划(SRP)、高速数据传输和自动范围选择(自动选择需要曝光的零件),这些都提高了制造过程的效率和准确性。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON LASER TEL Lithius是一款功能极其强大的光刻设备,可提供高精度和高速度的复杂零件生产。它可靠且用途广泛,对于希望制造精密零件的公司来说,它是一个理想的选择。
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