二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9378255 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种在半导体和微电子工业中用于抵抗加工的光刻设备。该系统允许对金属化、隔离和其他功能进行高分辨率的图样化,直至超细线宽0.12 µm。该单元由三个主要组件组成：一个光刻胶自旋涂层机、一个曝光单元和一个用于显影光刻胶薄膜的热板。光致抗蚀剂自旋涂层机用于在基板上均匀地涂覆一层薄薄的光致蚀剂。此薄层用作后续蚀刻的掩码。旋转涂层可以编程为以不同的速度和方向旋转，这取决于所需的层厚度和涂层的均匀性。光刻曝光单元利用紫外线在紫外线接触的基板区域硬化了光致抗蚀剂。这可以精确地形成图样，因为紫外线可以以所需的形状定向。曝光单元通常是一个单一的光掩模或一个光对齐器能够暴露蒙版的两个图样面。遮罩使用单个标线，而对齐器使用双标线进行晶圆级曝光。热板是机器的最终组成部分，用于烘烤再开发光刻胶。在此过程中，光致抗蚀剂被加热并暴露于显影剂溶液中，显影剂溶液在暴露的区域中去除了光致抗蚀剂形成图样。这些板通常加热到最高200 °C的温度，这是驱动化学反应所必需的。总体而言，TEL Lithius是一种用于复杂光刻胶图样的高效工具。该资产提供高分辨率的阵列以及简单的编程,以允许用户灵活。通过涂层、曝光和热烘烤/显影三个组成部分相结合，实现了高分辨率、高均匀性的模式形成。这使得高质量的半导体和微电子器件可以创建精细的细节。