二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9391711 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款光刻设备，能够实现精确的光学光刻工艺。光致抗蚀剂是一种红外敏感或可见光敏感材料，用于制造微电子制造中的图样。该系统通过将抗蚀剂（一种对某种材料具有抗性的材料）暴露于图桉化光束中来运行。抗蚀剂然后在合适的溶剂中发展，这会导致抗蚀剂的暴露区域被去除。抗蚀剂的其余暴露区域将被用于定义微电子制造中所需的模式。TEL Lithius由几个组件组成：1）抗蚀室：这是抗蚀剂暴露在光线下的地方，使其成为单元中最重要的部分。抗蚀室内部有真空泵和冷凝器透镜，有助于将抗蚀剂厚度降低30-40%。这反过来有助于提高光刻工艺的效率和准确性。2）口罩对齐器：这是用来控制口罩的，它作为曝光过程的模具。掩码对齐器允许掩码与抗蚀剂精确对齐,并有助于确保实现所需的模式。3）扩散器/光束成形光学器件：这种组件有助于在光束送入抵抗室之前对其进行成形。通过正确塑造光束，可以帮助产生更高分辨率的图桉。4）波形生成器：此组件负责控制抵抗室中的光学设置。它用于编程抗蚀剂将暴露于的参数，如波形、频率、脉冲宽度等。5）模式发生器：该组件负责生成将用于在抗蚀剂中创建所需模式的模式。6）监控机：此组件负责确保刀具中的所有组件正常工作,并确保抗蚀室内部的条件最适合产生高质量的图样。TOKYO ELECTRON Lithius是实现精确光刻工艺的先进可靠资产。广泛用于生产半导体制造、医疗器械等高科技部件。该模型设计方便，为用户提供可靠的结果和出色的分辨率。