二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9397193 待售
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ID: 9397193
晶圆大小: 12"
优质的: 2012
System, 12"
Material / Chemical:
PR, HMDS, Thinner, DEV
ArF Sub-process
Operating system: LINUX / Windows
SMIF
Hardware composition:
Load module:
(4) TEL Lithius load ports
(1) TEL Lithius loader arm
(5) TEL Lithius transfer robot arms
Process module:
Chamber
Pump
RF Generator
Gas box
PC
Utility:
Distribution panel
THC
Chiller
Chemical box
ETC
Parts and tool
Module:
(8) PM1 Soft bakes
(4) PM2 ARC bakes
(8) PM3 PEB
(3) PM4 Hard bakes
(3) PM5 ADH
(5) PM6 COT
(5) PM7 DEV
(1) PM8 WEE
PM9
Litho tool:
Lens
Laser
Light source
Alignment
Power
Process: HT-PYRO (1250C)
Safety: TEL Standard
Layout type: U/Box
Tool direction: LL
Front furnace body: Coating (FDP Standard)
Heater (Range of temperature): High VMU-40-007EXT(41) [850-1250°C]
Process:
Pressure: ATM
Temperature: 1250°C
Wafer / Cassette transport:
SEMI Standard - Notch, 12"
T/S Wafer jump out detection
Fork type / Material: 1+4 / Al203
Wafer In / Out order: ED -> P -> M / M -> P -> ED
Cassette:
Miraial (MK-823S-H)
Slot: 26
Stocker: 21
Monitor cassette:
In P1, P2, M / Out P1, P2, M
Fork :
Wafer detection
Wafer displacement detection
Pitch conversion
Missing parts:
S/V ADH256 Chamber coat error
DEV303 AOV Bath rinse
DEV303 AOV Firm rinse
IRAS R-Axis driver
Port clamp cylinder
COT201, COT203 Spin chuck
LHP Temperature board
Mapping arm assembly
WEE Fan
L-Arm Z-motor
IRAS Z-Driver
IRAS Y-Driver
IRAS X-Driver
IRAS X-motor
UPS Battery swap
Control power supply swap
EC Controller swap
CRA Cover, ITL Switch
Ejector
Y-Driver
X5 Cable
DEV 301 Spain I/O Board
(2) Borads, COT MTR
4-Ports assembly
Hard Disk Drive (HDD)
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种光致抗蚀剂设备，用于多种制造工艺。光致抗蚀剂系统用于制备和加工用于进一步加工或制造步骤的基板。TEL Lithius是由技术解决方桉提供商TEL制造的下一代光刻胶系统。该单元允许客户在几个步骤中开发一个抵抗过程。它可以提供精确的图样控制，同时提高高分辨率微光刻的分辨率和焦点深度。该机在各种光刻工艺中都能提高工艺吞吐量，提高产量。TOKYO ELECTRON Lithius能够进行先进的光刻技术，如薄膜成像、深紫外光刻和原子束光刻。它还支持photopatterning，一种使用单个掩码在单个晶圆上绘制高分辨率图样的技术。该工具采用了几种先进的技术，包括电子束源、固体浸没透镜、可变数值光圈和集成物镜。这种技术的结合使资产能够产生比其他光刻技术更高的分辨率和更精细的图桉。该模型设计为易于使用和操作，允许客户选择可以快速更改的参数或配方来调整流程。这些设备为客户提供了一定程度的灵活性,可以根据他们的特定需求进行定制。该系统提供了增强的薄膜厚度控制、更大的光束电流包络以及改进的基板材料性能。这些功能为客户提供了更好的吞吐量和准确的阵列设计结果。锂是芯片制造商和其他制造应用的理想选择，如有机光伏模块、高密度互连、微流体和先进基板。该单元可用于多种工艺，包括植入、图样制作、干蚀刻和湿蚀刻。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款功能强大、用途广泛的光刻机，旨在简化和改进光刻工艺。它是寻求具有更高吞吐量和更高产量的高级工具的客户的理想解决方桉。
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