二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithus #9290887 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithus是一种光致抗蚀剂设备，设计用于在制造纳米级结构时实现高清光刻。该系统的分辨率高达10纳米,非常适合大型集成电路（LSI）生产以及纳米研发应用。该单元由一台机器组成，该机器使用光学透镜通过覆盖基板的光刻胶薄膜投射光。该工具经过校准，可以将光引导到一个特定的角度，从而形成一个照明光刻胶的图桉。光致抗蚀剂是一种光敏材料，当暴露在光线下时反应不同。通过改变光致抗蚀剂的组成和暴露，可以控制将在基材上制成的图样的化学性质。资产可以通过一系列高级功能进行进一步调整，包括能够控制光线强度、镜头倾斜，甚至从外部源生成图样。这些功能使用户能够根据需要创建更精确的模式。该模型进一步配备了电动基板调节阶段，也可用于优化基板以获得最佳分辨率。TEL Lithus设备还提供了自动化的基板定位系统，帮助监控曝光过程中基板放置的准确性。这允许用户实现精确对准纳米公差。该单元进一步设计为具有较高的吞吐量速率，具有自动处理能力，使用户能够批量处理大量基板。此外，机器可以用来监视它生成的模式的质量，同时提供一个用户友好的界面，以便于操作。用户可以快速设置进程参数,并且该工具能够根据所需的结果在操作过程中自动调整设置。再者，照射过程之后的FRAP（光漂白后荧光回收）和EELS（电子能量损失光谱）等先进分析也可以利用资产进行。总体而言，TOKYO ELECTRON Lithus模型是一种先进的光刻设备，设计用于创建纳米级应用的高清模式。其先进的功能和自动化的能力相结合，使该系统在创建高精度的光掩模和生产高质量的纳米结构方面具有极高的精度。