二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 5 #9394083 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 5光抗蚀剂设备是半导体制造工艺的关键组成部分，其主要应用集中在发展细螺距光学图样和高度密集的互连。TEL Mark 5支持针对广泛基板开发抗蚀剂图像，允许优化光学图样图像。系统由曝光单元和控制台两部分组成。曝光机由一个光学台及其集成的镜面板、灯壳和镜座以及扫描工具组成。光学台为光学资产提供了一个平坦稳定的平台。镜面板配置高精度，使来自激光源的激光束从镜面板完全反射，然后直接暴露基板的中心。灯壳为激光和镜头卡口的操作提供了最佳环境，而镜头卡口则确保了镜头曝光过程所需的最佳位置。扫描模型包括激光源、反射镜和镀锌镜。激光源能够发射各种波长，光束均匀性、亮度和精度都很好。反射镜产生一系列扫描线，使基板能够精确对齐，而镀锌镜则负责提高吞吐量速度。控制台单元作为TOKYO ELECTRON MARK 5光刻设备的引擎。它配备了温度控制和安全监控器，这是了解和控制过程参数所必需的。它还配备了嵌入式、用户友好的图形用户界面（GUI），可轻松访问系统设置，可以对其进行优化以满足客户需求。此外，控制台采用可编程逻辑控制器（PLC），对各种单元参数进行自动闭环控制。综上所述，Mark 5光刻机是一种开发高精度光学图样的通用工具。它具有复杂的曝光资产和强大的控制控制台,能够优化各种参数。凭借先进的特性和可靠的性能，TEL/TOKYO ELECTRON MARK 5是当今半导体制造商的首选车型。