二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 5z #9222497 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 5z是一款先进的光阻设备，用于半导体制造的开发、转移、蚀刻和分析过程。该系统为介电层、金属层和光刻层提供光刻功能。它配备了一个先进的5倍光学变焦装置，能够精确定位具有高精度的光刻特性。该机进一步配备了紫外线曝光模块和高精度、高通量应用快速曝光时间的紫外线步进器。该工具使用高分辨率扫描资产进行图像识别，并能以低噪声快速获取图像。它还具有预先对准、自动倾斜和自动晶片到晶片对准的功能,以精确定位特征。TEL Mark 5z的交付成果超过了目前半导体光刻工艺的需求。它通过集成的图像测量功能提供了一个具有优化精度的平稳操作流程，以实现完整的图像精度。该模型还配备了自动聚焦调节机制，以确保即使在环境条件发生变化的情况下，也能保持在光刻胶层的"对准目标"。在安全方面TOKYO ELECTRON MARK 5z是为安全使用而设计的，有多个安全级别可以调整以适应特定的需求和条件。设备采用带有密封门的特殊抗振结构，在操作过程中保护使用者和设备，防止环境污染进入腔室或标线区域。该系统还提供空气净化单元、紫外线不透明度传感器、离子注射机等环境保护功能，确保光刻胶层清洁安全运行。最后,Mark 5z提供了一个全面的用户界面工具,具有多种功能,可方便地对模式进行编程和监视操作参数。它还具有网络功能,允许用户从远程位置远程访问机器条件、操作参数和模式编程信息。总之，TEL/TOKYO ELECTRON Mark 5z是一种先进的光刻胶资产，为介电、金属和光刻胶层应用提供了最大的精度、准确性和安全性。利用其UV曝光模块和UV步进器可轻松处理高吞吐量应用,并通过其集成的图像测量功能,能够以优化的精度平稳运行,实现完整的图像精度。此外，该模型以其多重安全等级和环境保护功能确保安全运行，并配备了全面的用户界面设备和联网能力，用于远程访问机器状态、操作参数和模式编程信息。