二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #293819130 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款光刻设备，设计用于在电子电路上解析细线宽、狭窄空间和高分辨率图样。该系统包括一个强大的光束成形单元、光束偏转和测量系统、激光光学和光学元件、扫描镜以及用于精确定位的运动控制系统。此外，先进的自动化和过程控制系统确保精确的操作和可靠的生产，以满足下一代半导体器件的需求。TEL MARK7内的光束开发机具有一系列的大功率激光二极管，以产生经过调整和精心塑造的输出，用于图样设计。利用可调节的直流注入垂直尺度激光二极管阵列和可调节的激光二极管偏置电流，可以对光束进行精细聚焦和振幅衰减。然后可以用圆柱形透镜的三眼工具进一步调谐输出，由步进式和高性能位置控制器控制。这些元件可以精确地形成聚焦的二维光束，具有狭窄的线宽和高度精确的光束放置。为优化光束的产生和偏转,设计了设备内的激光光学器件.针对均匀照明、低失真、大范围扫描等问题对光路布局进行了优化。高性能反射镜用于提高梁的偏转速度,使其能够快速移动到所需的位置。此外，高精度的角镜允许广泛的光束方向，同时保持精度。TOKYO ELECTRON的扫描和运动控制系统MARK-7提供精确、低噪声的光束扫描，以产生所需的图样。对一系列高性能伺服电机进行了精确运动同步，其运动控制器能够提供高速采样和精细分辨率控制。该模型能够将光束精确定位在光致抗蚀剂上所需的焦点、速度和强度。最后，TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7内的过程控制系统被设计为能够高度的生产可靠性，以满足下一代半导体器件的需求。软件控制的光刻胶和工艺过程可实现免维护操作。它配备了一个反馈设备，以防止光致抗蚀剂污染，还设有一个反馈电路，以确保光阻精度。TEL/TOKYO ELECTRON MARK7光致抗蚀剂系统是一个强大的单元，能够提供线宽狭窄、空间狭窄、照明均匀的高分辨率图像。其强大的光束成型机、光束偏转和测量系统、激光光学、扫描镜和运动控制器，以及先进的自动化和控制系统确保了精确的操作和可靠的生产。