二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #293819131 待售

ID: 293819131
优质的: 1993
Coater / Developer system 1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是为集成电路开发和制造而设计的光阻设备。TEL MARK7具有先进的光刻技术,可实现高分辨率成像和集成电路曝光。该系统还具有多种分辨率、速度、吞吐量和精度设置,允许用户自定义其成像过程以满足其特定需求。TOKYO ELECTRON MARK-7利用精密光学技术实现高分辨率成像和曝光。它结合了先进的光学对准单元和低失真透镜,以确保精确的成像。它还能够以可变的分辨率、速度和吞吐量运行,从而实现更高效的设备生产。TOKYO ELECTRON MARK 7採用高解析度步进器与特殊快门机进行曝光。这确保了光刻材料的精确成像和曝光。此外,TEL MARK-7还具有检测和校正光刻胶特性的能力.它采用多柱、可调梁工具,能够实现高精度的光束曝光校正。为了确保过程的准确性和可重复性,TOKYO ELECTRON MARK7包含了一个可重复性资产,用于验证设备参数。这种可重复性模型允许用户以高精度和可靠性多次重复一个过程。MARK7还包括各种工具和附件,以促进自动化进程。这些工具和附件包括激光对准系统、自动无掩码光刻系统、自动曝光控制系统以及图桉匹配和光阻分配系统。最后,Mark 7提供了最新的软件支持。设备包括蓝场匹配、图样匹配、图样分割和光刻分布系统以及基于软件的工艺设计。这种基于软件的流程设计允许用户以准确和可重复性创建、优化、分析和模拟制造流程。总之,MARK-7是为集成电路的开发和制造而设计的先进光阻系统.它能够为设备生产提供高精度和重复性。它还包括用于自动化流程的各种工具和附件,以及对流程设计的最新软件支持。
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