二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9026273 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款具有先进功能的光阻设备，旨在满足半导体行业最尖端的需求。TEL MARK7提供受控准直照明（CCI）、高级统一控制（AUC）和模式生成功能。TOKYO ELECTRON MARK-7的受控准直照明（Controlled Collimated Illumination，CCI）系统在较大的光刻区域提供最一致的照明图样来源。它通过保持均匀性和减少有较少缺陷的图样计数来帮助改善器件的光刻工艺。独特的可变照明角度、激光对准单元、自动准直器对准（ACA）等特点提供了机器最精确、最可重复的设置。TEL Mark 7的Advanced Uniformity Control （AUC）机器消除了手动对齐的需要。它确保了光敏过程中最均匀的光模式，从而提高了屈服率和器件性能。TOKYO ELECTRON MARK7还包括先进的模式生成功能,使光刻胶生成能够轻松呈现复杂的形状和模式。图样旋转、突出和镜像等特性使得TEL/TOKYO ELECTRON MARK7一种强大的设备光刻工具。其他特性如用于精细曝光比控制的曝光步长控制、用于减少反射模式和增强对比度的偏振照明也可以在Mark 7中找到。所有这些功能使TEL MARK-7能够为设备光刻提供更大的灵活性和性能。它还提供各种分析工具，如用于检测缺陷的图像处理模块，以及用于监测光刻胶工艺质量的视频检查模块（VIM）。总而言之,MARK-7是一种高度先进的光刻工具,它提供了最准确、最可重复的设置、最佳质量的图样和更低的图样计数,并减少了缺陷。TEL/TOKYO ELECTRON的先进特性、卓越的设备和优异的性能MARK-7使其成为器件光刻的理想选择。