二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9092964 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7光抗蚀剂设备是一种先进的光刻系统,用于集成电路的制造。它使工程师能够在电路设计上获得卓越的精度和产量,使其成为芯片制造的理想工具。TEL MARK7是一个全自动单元,具有165毫米步进器,可在半导体晶片表面上精确曝光光刻涂层。它配备了一个标线级,也可以用于标线的精确对准。该机器能够在1:1的再现中达到10纳米(nm)的精度公差。TOKYO ELECTRON MARK-7工具还具有先进的处理选项,如喷涂、纺纱、喷射和浸渍,以及一套晶圆检测系统。所有这些系统为工程师提供了对其工艺的卓越控制以及在制造过程中检查零件的能力。资产通过控制抵抗暴露的模型得到进一步增强。曝光时间和剂量可以精确控制,让工程师们实现所期望的抵抗发展而不变。TEL Mark 7具有嵌入式制造执行设备(MES),可用于存档重要数据,如配方、晶圆映射、缺陷度量等。该系统通过网络功能得到进一步加强,使其他系统和网络之间能够通信。简而言之,TEL/TOKYO ELECTRON MARK7 Photoresist Unit是一台高度先进的光刻机,为工程师在制造集成电路时提供高精度和重复性。其特性和功能的结合使其成为满足芯片制造需求的理想工具。
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