二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9098200 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7
ID: 9098200
晶圆大小: 6"
优质的: 1995
(1) Coater / (2) Developer System, 6" (1) Scr 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是在半导体製造业中作为必要装备的光刻胶设备。该系统允许光刻过程,从而能够在微观尺度上创建结构。TEL MARK7是一个集成的光致抗蚀剂单元,意味着它有多个组件,它们都相互集成形成一个实体。其中一些成分包括光致抗蚀剂自旋、晶圆传输和工艺室。光致抗蚀剂自旋将溶剂、光致抗蚀剂或化学物质施加到半导体晶圆表面上,以实现光刻过程。晶圆再由晶圆传输到加工室,在那里受到紫外线辐射。通过这个过程,形成了光刻图桉。TOKYO ELECTRON MARK-7集成了冲洗和自旋干燥模块,以便在光刻过程后轻松清洗半导体晶圆。这包括两个步骤:冲洗和自旋干燥。冲洗模块清除晶片中的所有化学物质和材料,而自旋干燥模块清除任何多余的残留物或液体。此外,TEL Mark 7还具有多种内置功能,可确保它能够执行各种不同的光刻过程。这包括能够用化学材料蚀刻晶片的不同区域,控制工艺参数,自动化图样,并在光刻过程进行时提供精确的晶片定位。总体而言,TOKYO ELECTRON Mark 7是制造半导体元件的有效可靠的光刻机。其集成的光刻胶组件在一个单元中促进了完整的光刻工艺,包括冲洗模块和自旋干燥模块,从而提供了最大的效率。此外,此工具还提供各种内置功能,可增强光刻工艺,最终使产品质量更高。
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