二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9098210 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是TEL公司开发的一种最先进的光电抗蚀剂设备，其设计目的是提高抗蚀剂成像的精度和能力。它是一个多任务平台，可以支持两个独立的光阻过程和四组独立的架空门架，允许同时多次曝光同一块石英板或光学和数字格式的多块板，同时也提供处理具有挑战性底物的能力。TEL MARK7有两个主要组件-光刻室和离轴曝光系统。光刻室是一个清洁室，配备了最先进的控制，以最大限度地提高吞吐量和精度。它包括一个超高真空（UHV）单元，可以在腔内产生真空，使抗蚀剂在没有任何空气的情况下暴露出来。腔室还有一个反应性等离子体源，有助于改善抗蚀剂在暴露前对基板的附着力。曝光机是一种高分辨率的工具，能够精确地成像晶圆上的特征，具有极高的精度。它具有离轴光源，无论基板的方向或厚度如何，都能将图样精确聚焦到晶圆基板上。这种离轴资产对于成像三维结构尤为重要。曝光模型还具有高级控制功能,可帮助确保曝光过程高效一致,高速电机控制可精确移动口罩,以及自动失真、尺寸和放置测量,以确保准确曝光。此外,设备还具有直观的用户界面,可提供诊断、过程监控和故障检测功能。TOKYO ELECTRON MARK-7是一个创新的系统，提供卓越的成像能力和性能，以及提高产量，吞吐量，和单位正常运行时间。由于其高吞吐量和灵活性,它还有助于降低成本和缩短上市时间。这台光刻机是制造高端电子产品的理想工具,它提供了跟上行业趋势和需求所需的可靠性和性能。