二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9119206 待售
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ID: 9119206
晶圆大小: 6"
优质的: 1995
Track system, 6"
Left to right for 8"
Indexer: (4) cassette stage (uni-cassette)
Configuration:
Main body
IF
Chemical cabinet 1
Chemical cabinet 2
THC
PC rack
Main controller: NEC FC-9801F
C/S Robot type: vacuum arm, ceramic pincette
Main robot type: 3 pincette arm
Indexer: laser diode mapping sensor
COAT:
(4) Resist nozzles / bellows pumps
(1) Gallon resist bottle / thinner local supply (canister)
EBR nozzle / back rinse nozzle
Local drain (1st SUS 10L tank/drain pump)
DEV:
Nozzle type: E2
Rinse nozzle / back rinse nozzle
Local supply / facility drain
WEE:
TEL Standard
UL-200T-L1 UV Light source
AD:
TEL Standard
Local supply
Currently warehoused
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是用于半导体器件生产的光刻工艺中的光刻设备。它通过激光技术清除过程中产生的废光，同时控制基板表面的光学条件。TEL MARK7使用633nm或635nm激光波长作为激光光源,并结合可调节的狭缝和振荡光学器件。该系统包含一个反射器和光学滤波器组件，可以根据激光束的强度和倾斜度进行调整。它还包含一个能够精确控制基板曝光周期的高精度快门。TOKYO ELECTRON MARK-7还有一个内置的光刻胶分配装置，可以以一致的速率分配光刻胶材料，而不会有雾或滴落。该机器的设计目的是尽量减少环境污染和减少背景干扰。它能够通过设置多个参数如狭缝角和激光功率来实现高精度的表面结果。该工具具有1 μ m的极其精确的空间分辨率,能够在各种基板表面上产生高质量的结果。TEL/TOKYO ELECTRON MARK7是一种极具效率的资产，具有高精度的控制，是制造半导体器件的理想选择。由于结构坚固，它非常可靠，寿命长。该型号也可以轻松设置，极具人性化。总体而言，MARK-7是用于制造半导体器件的先进光刻设备。由于其激光技术和可调节的狭缝和振荡光学，它能够提供高度精确的结果。它具有很高的可靠性和用户友好性，使其成为生产极高品质基材的理想选择。
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