二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9214147 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一种用于半导体器件制造光刻步骤的光刻设备。该系统由光敏纺纱单元、多点曝光站、自动热防护单元组成。光敏旋转单元用于以精确控制的速度旋转光敏涂层的晶片，以便在晶片上实现均匀的自旋速率。多点曝光站采用多点激光束同时曝光光刻涂层晶片，不需要传统的掩模对准技术，从而提高了吞吐量水平。此外，曝光站还配备了一个对准单元，利用激光和照相机精确聚焦和对准晶片上曝光图像的图样。最后，自动热保护单元是一种集成的热控机，用于防止晶片在抗纺纱和曝光过程中过热。在操作中,TEL MARK7从光敏纺丝单元开始.光致抗蚀剂旋转到晶片上后，多点曝光站照亮晶片，以便将所需的特征蚀刻到抗蚀剂中。对曝光站的对准工具进行了校准，以快速准确地将曝光罩对准每个单独的晶片，从而实现快速处理速率。最后，自动热保护单元监控晶片的温度，以确保光刻胶在整个过程中的最大热保护。总体而言，TOKYO ELECTRON MARK-7是一种强大而可靠的光刻资产，使半导体制造商能够快速准确地加工晶片，同时在制造过程中为光刻胶提供最高水平的热保护。MARK7具有先进的激光曝光机理和精确对准模型，是满足现代半导体器件制造高通量、高精度要求的理想解决方桉。