二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9216078 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是生产半导体器件时光刻使用的先进光刻设备。该系统集成了最先进的分辨率光阻工具和先进的成像光学器件，提供卓越的晶圆成像性能和分辨率。TEL MARK7单元是处理亚微米级光刻应用的理想设备。光致抗蚀剂机包括专用的光致抗蚀剂处理器，用于在晶片表面涂抹均匀、精确的光致抗蚀剂薄膜。它还包括一种精密成像光学工具，用于以纳米分辨率将光刻胶成像到晶圆表面上。成像光学器件包括高分辨率物镜，在晶圆表面上提供卓越的衍射受限图像质量。它还包括一个机器人龙门资产，用于精确定位光学器件并提供晶圆表面的自动扫描。光刻胶模型由计算机控制，使用户能够对成像参数进行编程以获得所需的晶圆图样。该设备与各种流行的光刻曝光技术兼容，包括光学步进器、旋转/倾角涂层和洪水曝光。它还允许用户处理大小各异的晶片，例如大或小基板格式。TOKYO ELECTRON MARK-7光刻胶系统配置了先进的气体射流单元，用于在加工过程中将光刻胶材料转移到晶片上。这种喷气机有助于在加工过程中保持晶片表面的均匀阻抗覆盖。此外，该工具还包括一个防反射涂层模块，有助于在成像过程中减少来自晶圆表面的光反射。TEL/TOKYO ELECTRON MARK7光致抗蚀剂资产配备了温度控制模型，使用户能够在成像过程中调节光刻光学器件的温度。它还包括一个清洁模块，用于在成像后从晶片表面清洁抗蚀剂材料。总体而言，MARK-7是一种先进的光刻设备，能够满足用户的光刻成像需求。它提供卓越的分辨率成像和广泛的高级功能,使用户能够高效生产高质量的半导体器件。