二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9216894 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7光刻设备是一种精密光刻设备，用于半导体和光电生产过程。该系统在制造具有超小型特性的设备时实现了世界级的亚微米精度。该单元采用高保真投影仪来精确地曝光光刻层。这些先进的投影机配备了光学菱形棱镜（ORP）镜头阵列，可以精确聚焦图像，同时不断校正镜头像差产生的失真和效果。ORP镜头阵列还提供了图像尺寸的4倍减小,从而实现了精确的0.25 um功能打印。使用先进的曝光控制反馈回路工具进一步增强了TEL MARK7机器。这样就可以对芯片设计的每个子领域的曝光进行微观调整。这提供了一种可重复和高精度的曝光工艺，对于纳米级制造至关重要。TOKYO ELECTRON MARK-7拥有一个专有的特征-遵循光对齐器资产，以确保芯片的图像在光刻胶层保持精确聚焦。这在打印超小型特征（如尺寸<0.20 um的特征）时尤为重要。还设计了TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7模型，以减少环境影响，保持非常清洁的工作环境。它有一个内置的干气循环和过滤设备来清除空气中的污染物、灰尘和微粒，以避免污染。TOKYO ELECTRON MARK7还有一个真空减排系统，以减少挥发性有机化合物和其他在光刻过程中的蒸气排放。最后,MARK7单元设计方便维护和维修,可靠性高,可减少停机时间并方便全天候生产。它有一个正常的调度程序，允许用户在不中断生产的情况下进行维护检查和预防性维护。TEL Mark 7是一款精密平版印刷机，能在低环境影响和可靠环境下产生高保真度、准确性和可重复性的超小型特性。这使得它成为半导体和光电生产的绝佳选择。