二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9235085 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是为微电子和其他需要精密光刻的应用而设计的光刻设备。它提供了一个可靠、高质量的抗蚀剂沉积和暴露过程，具有现代化、用户友好的界面。TEL MARK7光致抗蚀剂系统具有独特的垂直照明器设计，能够更好地调节接触印刷，并为光致抗蚀剂沉积提供优化的光均匀性。该单元配备了一个7英寸准直镜，允许使用紧密的CD控制对亚微米特征尺寸进行非常精确的处理。自动对齐机器允许图像具有高精度和均匀性在大型生产晶片。该工具由Prebake视觉平台、Safety blast室和Resist平台组成。Prebake平台用于烘烤和预烤过程。它配有预烤烤箱和热电偶警报资产，在达到目标温度时发出警报。安全爆破室通过确保抗蚀剂和基板在暴露过程中始终受到保护，有助于提高晶片通量。抗蚀剂平台为高产结果提供了精确的抗蚀剂沉积和暴露。TOKYO ELECTRON MARK-7光刻胶型号配备了高性能控制器，提供可靠的操作。其高级图形用户界面（GUI）允许清晰直观的导航,并允许操作员快速设置和查看作业。该设备包括一个先进的安全系统，该系统限制了对敏感地区和数据的访问。TOKYO ELECTRON MARK 7光抗蚀剂单元在广泛的微电子等应用中确保最大安全方便。它配备了多种功能来支持清洁环境中的操作。该机器还具有先进的环境监控功能，允许用户实时监控环境。它具有符合能源之星标准的电源,可降低能耗并有助于经济高效的运行。