二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9235179 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款先进的光致抗蚀剂设备，可实现快速、精确的抗蚀剂处理。它是一个完全自动化的闭环系统，在一个步骤中控制抗蚀剂的分配、暴露和烘烤。TEL MARK7还提供了广泛的曝光和清理参数，以适应各种抗蚀剂处理应用。TOKYO ELECTRON MARK-7配备了专为光刻胶应用而设计的校准式配电器（CD）。它有一个可调的分配喷嘴，以确保均匀和可重复的光敏剂剂量。分配头也能控制温度和压力。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7提供紫外线曝光单元和无影曝光单元。它结合了先进的气刀机，使开发区域保持清洁，从而减少了开发时间，提高了精度。TOKYO ELECTRON MARK7也有内置的过程算法，为不同的过程提供准确的曝光时间，如HF或UV曝光。TEL/TOKYO ELECTRON MARK7还具有主动热控制工具（AHCS）。该资产使用PID控制器精确控制加热元件。它还提供了多个温度配置文件的选择,允许用户为其特定应用程序选择最佳温度配置文件。此外，TEL MARK-7提供了一个独立的超压模型，可确保在曝光过程中光刻胶受到均匀的压力。TEL Mark 7还有一个自动抵抗清理模块。该模块使用集成喷嘴设备清洁基板上剩余的抗蚀剂。清洁剂在不留下痕迹的情况下，从整个基板表面去除了光致抗蚀剂。MARK7能够处理厚度不超过4mm的基板,基板尺寸不超过200 mm x 300 mm。它一次最多可处理12个基板，手动加载。MARK-7的效率和准确性使其成为广泛应用的理想光敏处理系统。