二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9237076 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7光抗蚀剂设备是一种创新的聚合物薄膜沉积蚀刻系统，用于制造先进的电子器件。这个先进的单元能够创建亚微米线模式。该技术基于化学溶液和等离子体蚀刻工艺的组合，组合形成单个薄膜沉积机。该技术由两个阶段的步骤和重复过程组成，在该过程中，将抗蚀剂溶液应用于基材。第一阶段是图样化步骤，其中光掩模对齐并暴露在基板上。这种曝光会在抗蚀剂膜中产生所需的模式。第二阶段涉及一个蚀刻步骤，其中使用等离子体蚀刻在抗蚀剂膜中创建所需的特征。此过程完成了从蒙版到基板的模式传输。TEL MARK7光致抗蚀剂工具比传统的制图工艺有许多优势,包括更高的分辨率和更精细的特征大小功能。它还可以提供更高的吞吐量速率,以及提高准确性和稳定性。该过程还具有足够的通用性,可以进行返工和可调节的特征尺寸。资产还提供了一个自动化的过程,包括晶圆处理、对齐和焦点调整。这种自动化有助于降低人力成本并提高流程的可重复性。它还提高了流程的效率，允许更快的周转时间。这些优点加上该型号的高分辨率和特征尺寸功能,使TOKYO ELECTRON MARK-7成为高精度阵列制作过程中非常可靠和抢手的解决方桉。该设备已广泛应用于半导体工业先进半导体和光电器件的生产。