二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239616 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款由TEL（TOKYO ELECTRON）开发的光阻设备。它是一种用于制造半导体集成电路的光刻和制图工艺的抗蚀剂开发处理器。此抗蚀剂处理系统基于模块化设计,由抗蚀剂涂层、显影剂、剥离器和烘干机/烤箱组成。抗蚀剂涂层用于在基板上应用光致抗蚀剂。它可以精确控制涂层重量和厚度，也便于在基板上应用抗反射涂层。显影剂用于有选择地从基板上的非图像区域中移除抗蚀剂材料。它利用高压气溶胶技术，使光致抗蚀剂的快速去除在基板上产生错综复杂的图样。剥离器是一个单独的单元，用于去除任何残留的光致抗蚀剂。它能够去除基板上高达99.5%的厚抗蚀膜。烘干机/烤箱用于加热基材并去除任何残留的溶剂和其他污染物。它可以一次加工多达四个直径达200毫米的基板。它具有高达250°C的加热能力，利用空气设计最大限度地减少基板变形。TEL MARK7包含多种传感器，以确保基板被精确加热和处理。TOKYO ELECTRON MARK-7还具有直观、用户友好的图形界面以及各种定制配方和过程协议。它提供了一系列的统计过程控制（SPC）功能，以确保基板以最高的精度和可重复性进行处理。该机适用于几种材料的清洁、密封、防反射涂层，包括石英、硅、铝、铜。MARK-7是为光刻工艺创建的高效可靠的抗蚀剂开发工具。TOKYO ELECTRON MARK 7以其模块化的设计和广泛的工艺能力，提供了制造集成电路的理想平台。