二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239698 待售
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ID: 9239698
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
(3) Coater system, 8"
Automation component: HSMS
Inline flow: Right
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是为了优化多层半导体製造工艺的精确度、速度和产率而设计的最先进的光刻石设备。它利用先进的投影成像和拍打光子技术，以不到一微米的分辨率实现铝蚀刻。该系统通过利用高分辨率光学器件将光刻胶层向下暴露在基板上，可以处理不同厚度的多层。曝光过程使用两束不同波长的激光束，一束用于各向同性，另一束用于各向异性烧蚀。该单元配置了改进的层厚度控制,从而提高了图桉精度和蚀刻表面质量。它在运行过程中还具有无粒子的环境，以确保介电的完整性和消除任何污染的机会。此外,TEL MARK7还配备了专用远程管理机器,以实现最佳控制和监督。这允许用户实时监视、优化和调整机器设置,从而减少了对手动流程的需求。该工具还可以实现自动化，以更快、更精确的方式在各个过程中移动。最后,TOKYO ELECTRON MARK-7与客户现有的数据库基础架构集成,以最小的停机时间提供快速、可重复的光刻胶操作。TEL MARK-7为集成电路芯片的高精度、高产制造提供了理想的解决方桉。它具有紧凑的设计、低运营成本、过程控制保护以及严格的质量控制等特点。最新的投影成像和拍打光子技术结合自动化控制，使得TEL Mark 7成为市场上首屈一指的光阻资产。凭借其改进的层厚控制、无颗粒环境和自动化工艺管理，Mark 7是最高级别光刻胶应用的理想选择。
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