二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239700 待售
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ID: 9239700
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
(3) Coater system, 8"
Automation component: HSMS
Inline flow: Left
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一款为电子束光刻而设计的光刻设备，开发用于协助制造集成电路，以及其他微电子元件。该系统包括一个专门的束偏转单元，通过在有限的区域输送高能电子来精确地暴露底物。这提供了比传统曝光技术更本地化和更强的电压配置文件，允许改进模式控制。TEL MARK7包含一个具有聚焦线圈的高级离子源，这保证了光束集中到一个小的斑点大小，减少了杂散电子的机会，并将有效电压分散在一个小区域上。此外，该机采用了专门设计的电子偏转器，以增强特征定义和沉积控制的方式进行全面积扫描。结合起来，这些元件能够快速电子束处理，具有低至0.1微米的高特征分辨率。此外，TOKYO ELECTRON MARK-7有一个可编程的等离子体源和温度控制，允许将热活化的光致抗蚀剂或其他EPIL材料精确地输送到感兴趣的领域。这确保了即使电子束需要在多次曝光上施加能量时基板的均匀覆盖。最后，TEL Mark 7工具配备了集成光学显微镜资产，用于检查暴露的基板。这样可以消除盲点,并确保处理准确。此外,还使用了自动级对准模型,以确保光束始终不聚焦并远离正在检查的零件,从而使其使用更加安全。MARK-7是业界领先的电子束光刻光刻光刻设备，为微电子元件的加工提供精度和安全性。
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