二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239701 待售
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ID: 9239701
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
Automation component: HSMS
Inline flow: Right
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7光刻设备是为半导体制造工艺设计的高科技光刻系统。TEL MARK7单元能够以极精确的分辨率对各种光刻胶进行制图和曝光，并被用于半导体制造的几个高级阶段。TOKYO ELECTRON MARK-7机的中心是ALTUS Exposure工具，它提供了激光和卤素灯的选择，以暴露不同类型和灵敏度的光刻剂。还包括更广泛的高分辨率对准和检查能力。ALTUS Exposure资产的开环软件允许对多达256层的各种类型的光刻胶进行制图。该模型可根据所使用的光刻胶类型精确定义和调整曝光边界。利用此功能,可以更改和优化每一层的曝光时间。ALTUS分辨率阵列技术可确保每个特征的精确放置,同时提供尽可能高的分辨率。Mark 7设备还能够使用BEAMER（高分辨率电子束成像）进行ECRIS（增强临界分辨率成像系统）成像。MARK-7单元中的高级缺陷检测功能由TELECISAS（高级检测和模拟TELETron™机）提供。TELECISAS功能包括最先进的渐进式缺陷检测算法和一个包含质量控制信息的综合数据库。除了MARK7工具的高精度曝光功能外,其数据和材料管理功能同样令人印象深刻。所有基本信息都是数据驱动的,因此易于控制生产过程。利用智能数据挖掘和分析对信息进行监测和收集。材料管理资产涵盖流程的方方面面，从原材料到成品，并允许进行详细的库存和订货控制。TEL Mark 7模型是一种高度先进的光刻解决方桉，能够提供高分辨率、精确度和质量控制。它旨在促进引进先进的半导体制造工艺，同时限制开支和提高生产率。
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